TAEKWANG Materials
- 반도체용 브러쉬
- LCD/ OLED용 롤러
- 광학/필름용 브러쉬
반도체용 브러쉬
- 제품명
- 코아 일체형/ 스폰지 단독형 PVA 스폰지
- 제품개요
- 반도체 정밀 세정공정에서 사용되는 초 고순도의 PVA.
코아 일체형 제품의 생산이 가능한 뛰어난 금형 설계능력.
Alignment 또는 Gap 발생 원인을 근본적으로 제거.
화학 약제가 브러쉬 전역에 골고루 도포되도록 첨단 설계된 코아.
뛰어난 기술력으로 웨이퍼 표면의 미세한 스크래치도 방지.
Aging 시간의 단축 실현.
제품특성
- 반도체
- 대면 접촉을 통한 정밀 세정이 가능한 특수 소재로 3D 메모리 칩 및 한자리 수 나노급의 마이크로프로세서 정밀 세정에 사용.
- HDD
- 초고속 초대용량 Data Storage의 장점을 살리기위한 대면접촉 오염원 제거에 필수적으로 사용.
- Thin Film/ Optics/ LED
- 초박형 필름의 증착과정 전후의 미세 오염물 제거에 사용.
- MEMs/ Solar
- 웨어러블 또는 이식형 제품 제조시 오염원을 줄이기 위해 사용.
적용처
- 반도체 제조
- post-CMP
FEoL, MoL, BEoL
Substrate
Prime SI, SOI, Reclaim
Photomasking cleaning
Chamber cleaning - HDD
- HDD Disk
AL glass, NiP, PZT
Read/Write Head
Thi-film, MR - Thin Film / Optics / LED
- Nano coatings
Smart Glass
Optical Communications
Instrumentation - MEMs / Solar
- Inertial Sensors
Micro fluidics
RF Solar TF/Silicone cleaning,
Drying
- 적용장비
- Applied Materials: Mirra Mesa 200, Reflwxion LK300,
Reflexion LK Prime 300 등
Ebara: EPO XXX, F-Rex200, F-Res 300S (I/II)
Lam Research: Ontract Series I/II, Synergy Integra
이외 고객의 주문에 의한 맞춤 제작 가능.
LCD/ OLED용 롤러
- 제품명
- 무본딩 PVA / 장축 PVA 롤러 (당사 특허 제품)
- Flat PVA 롤러/ Spiral PVA 롤러/ Diamond PVA 롤러. - 제품개요
- LCD/OLED 제조라인에서 사용되는 장축 롤러는
1. PVA 고유의 뛰어난 흡수율로 glass 위에 남아 있는 수분을 제거하기 위하여 사용.
2. 공정간 다른 화학약제를 사용할 경우, 경계를 구분지어주며 약액이 상호 작용하지 않게 하는 액절 (water-cut) 역할로 사용.
3. 얇은 유리 반송 시 깨지지 않게 잡아주며 다음 공정으로 넘어가게끔하는 반송용으로 사용. - 스펙
- 롤러 길이: ~ 3,500mm 까지 다양한 길이. (10.5세대 이상 가능)
롤러 외경: ~ 300Ø
고객사의 주문에 의거 도면에 따라 정밀하게 제작.
제품특성
- 제품특성
- 무본딩 방식의 장점은
1. 고온공정에서 PVA 롤러를 사용해야 할 경우 접착식에서 나타나는 화학용제 용출현상, PVA 스폰지의 쏠림 및 끝단 탈착현상이 제거.
2. 견고한 결착방식의 채택으로 사용기간 중 스폰지 이탈 현상 전무.
3. 정밀한 롤러 외경관리 및 동심도 관리가 가능. 당사 특허 제품.
다양한 표면형상은
1. 스폰지 고유의 부드러움을 이용하여 세정, 반송용으로 사용.
2. 대면접촉을 통한 정밀 세정시 사용.
적용처
- 적용처
- LCD, Bare Glass
Thin Film/ Optics/ LED
Solar
Automobile/ Automobile parts Manufacturing
Food Producing industries
광학/필름용 브러쉬
- 제품명
- PVA 롤러 및 원터치 디스크 브러쉬 (당사 특허 제품)
- 제품개요
- Film, Optic lens, OLED, LCD 제조 시 정밀 세정을 원하는 부분에 PVA 재질사용.
1. 다양한 표면형상의 롤러는 얇은 대상물에 무리를 주지 않고 세정이 가능.
2. 원터치 디스크 브러쉬는
- 기존의 스크류 대신 브라켓을 부착하여 작동.
- 내열성과 내구성이 뛰어난 자석 인입하여 탈부착의 간편화 달성.
- Easy alignment 및 간편성은 PM 시 기존 대비 비용을 1/5로 감소시킴.
당사의 Best Seller로서 당사 특허 제품.
